应用领域
专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀,可耐受高压、高背压。可耐受供液管线的高压、高背压、大流量的0.7MPa规格。
产品特点
1.扩大使用压力范围
通过采用新密封结构,扩大使用压力范围。A、B口的使用压力实现通用化。
2.酸碱适用
执行器采用耐化学药品性优异的氟树脂“PVDF”,标准型应用非常广泛,酸碱同样适用。
3.扩大流体温度范围
大幅扩大标准品的使用流体温度范围(Max. 120℃)。可选择带传感器的类型,通过信号确认阀的开闭情况。
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