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首页 > 供应产品 > 硅晶圆清洗
硅晶圆清洗
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产品: 浏览次数:436硅晶圆清洗 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-06-24 18:23
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详细信息

硅晶片清洗机

1.产品名称:硅晶片腐蚀清洗机
2.产品用途:适用于2"~8"硅片腐蚀清洗
3.设备介绍:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件.
   基本材质:箱体材质:德国兹白色聚丙烯(PP)
   门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC)
   腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)
   清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP)
                    腐蚀槽配有美国聚四佛乙烯加热器,虹吸上排,传感器
                    清洗槽配有溢流装置和N2鼓泡装置
                    整机外形美观,实用
4.设备外形尺寸:2000x1000X1800(mm)
5.设备重量:8000Kg(约)
6,设备控制方式: PLC结合操作触摸屏控制
7.设备动力条件:电源:380VAC+-10%频率 50HZ+-10%,三相五线制
                       整机额定电功率(参考):20KW
                       电气性能:E级,并有良好的接地
                       水工:压力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口径DN25
                       DIW:压力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),电阻率15M 口径DN25
                       气源压缩空气:0.3~0.5MPa,口径3/8"(配有水分离器)
                       排废:DN50
                       排废酸:DN40
                       排风:DN200
                       环境要求:空气温度5-40°C;相对湿度:80%

硅晶圆清洗

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